中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國(guó)立中央研究院工程研究所，是我國(guó)最早的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)之一。新中國(guó)成立后隸屬中國(guó)科學(xué)院，曾命名中國(guó)科學(xué)院工學(xué)實(shí)驗(yàn)館、中國(guó)科學(xué)院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據(jù)學(xué)科領(lǐng)域和科研目標(biāo)的調(diào)整，更名為中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，簡(jiǎn)稱上海微系統(tǒng)所。